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產(chǎn)品資料

西特真空電容式壓力計Model 730

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 西特真空電容式壓力計Model 730
產(chǎn)品型號: Model730
產(chǎn)品展商: Setra(西特)
產(chǎn)品文檔:
 Model730

簡單介紹

Setra西特真空電容式壓力計Model 730是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。西特真空電容式壓力計Model 730產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%,分辨率高,優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計,它能**測量介質(zhì),不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。


西特真空電容式壓力計Model 730  的詳細介紹

  Setra西特真空電容式壓力計Model 730是一款適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品,其采用采用單膜片可變電容感應(yīng)元件,適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。Setra西特真空電容式壓力計Model 730具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點,使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。Inconel® 設(shè)計保證通用性,所有接液部件均采用I n c o n e l T M 材料, 因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。I n c o n e l T M 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu), 確保7 3 0 型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。

  Setra西特真空電容式壓力計Model 730內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同,7 3 0 型測量直接壓力, 不受被測混合氣的影響,這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計且所有壓力量程可直接承受耐壓45PSIA,其特性:·高精度:±0.5% 讀數(shù)·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能·工作溫度補償范圍寬·回路噪聲低,響應(yīng)快·不易受環(huán)境條件變化影響·出色的抗過壓設(shè)計·符合CE 和RoHS 規(guī)范等。

  Setra西特真空電容式壓力計Model 730性能參數(shù)和物理參數(shù)如下:

精度: ±0.5%讀數(shù) 、±0.25%讀數(shù)(可選) 響應(yīng)時間:<20 ms  分辨率無限,僅受輸出噪聲的限制(≤0.005%FS)

補償范圍:0~+50℃ 零點漂移:0.25% FS/50℃ 長期穩(wěn)定性: 0.5% FS/1年,不受環(huán)境條件影響

工作溫度:0至+80℃   量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃

激勵/輸出: 12-30 VDC/0-10 VDC  9-30 VDC/0-5 VDC
電流消耗:<10 mA(最大值)  輸出負載:>10 kΩ  輸出阻抗<1 Ω

壓力介質(zhì):量程漂移1.35%讀數(shù)/50℃ 環(huán)境參數(shù)與Inconel®兼容的氣體或液體。Inconel®接液材料僅適用于0.5"管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼。

殼體:不銹鋼  重量(近似值) <250 g

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